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レビュー SEM 機器は欠陥再検査装置（DR-SEM）とも呼ばれ、電子ビーム検査装置のカテゴリーに属する。電子ビーム検査装置には、DR-SEM のほかに、電子ビーム欠陥検出装置（EBI）も含まれる。レ...