タグ: AI半導体成膜

NTTは、AIとロボット技術を活用することで薄膜成長のプロセスを自律的に最適化し、得られたデータを人が理解しやすい「成膜ルール」へと変換する「解釈可能な自律成膜」を実証しました。成膜から評価までの実験...