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発表のポイント： AIとロボット技術を連携した自律成膜基盤により、成膜・評価サイクルを従来の約3倍に高速化し、ウルトラワイドギャップ半導体β-Ga2O₃（β型酸化ガリウム）の高品質な単結晶薄膜の作製に...