タグ: NTT半導体成膜AI

NTTは25日、半導体のシリコンウエハー上に膜を形成する成膜の研究を効率化する技術を検証したと発表した。人工知能（AI）で成膜の最適な条件を見つける。研究に必要な実験のプロセスが従来に比べ3倍高速にな...